XUV Kohärenztomografie
Von außen anwendbare bildgebende Mess- und Analyseverfahren haben für viele Bereiche der Medizin, Technik und Wissenschaft eine herausragende Bedeutung, da sie eine detaillierte Untersuchung von inneren und äußeren Strukturen ermöglichen, ohne dass hierbei eine Beschädigung oder Zerstörung des untersuchten Objektes in Kauf genommen werden muss.
Die stetig voranschreitende Miniaturisierung führt hierbei dazu, dass die relevanten Strukturgrößen im Zusammenhang mit vielen Anwendungen in Elektronik, Optik und Mechanik mittlerweile im Bereich von Nanometern liegen. Für eine Untersuchung entsprechender Komponenten bedarf es demnach hochauflösender zerstörungsfreier Prüfverfahren, welche eine detaillierte Abbildung der immer komplexeren Strukturen möglichst in ihrer dreidimensionalen Ausdehnung ermöglichen.
In dem Projekt "X-CoherenT" des Instituts für Optik und Quantenelektronik der Friedrich-Schiller-Universität Jena soll ein bildgebendes Verfahren validiert werden, welches diese geforderten Eigenschaften erfüllt. Mit Hilfe eines speziellen optischen Aufbaus lassen sich unter Einsatz von Licht aus dem extrem ultravioletten Spektrum bildgebende Prüfungen von inneren Strukturen mit Auflösungen im Nanometerbereich realisieren.
Im Falle einer erfolgreichen Validierung ergibt sich für die neue Technologie eine Vielzahl verschiedener Anwendungsmöglichkeiten in diversen Bereichen. Dier Verwertung der Projektergebnisse kann hierbei über einen Lizenzverkauf oder die Gründung eines Spin-Off erfolgen.