Innovative nasschemische Reinigung und Nanostrukturierung von Siliciumoberflächen
Im Bereich erneuerbarer Energien bildet die Photovoltaik eine der tragenden Säulen. Auch in den kommenden Jahren ist hier mit hohen Wachstumsraten zu rechnen. Der starke internationale Wettbewerb zwingt Unternehmen jedoch zur steten Erschließung von Innovationspotenzialen im Bereich der Verbesserung von Wirkungsgraden sowie der Senkung der Herstellkosten von Solarmodulen.
Das Validierungsvorhaben „SiSTeC“ hat sich die Entwicklung und Skalierung eines neu-artigen Verfahrens zur simultanen nasschemischen Reinigung und Strukturierung von Wafer-oberflächen aus monokristallinem Silizium zum Ziel gesetzt. Durch innovative Prozess-führungen unter Einsatz chlorhaltiger Flusssäurelösungen sollen auf der Waferoberfläche Texturen in der Form zufälliger inverser Pyramidenstrukturen erzeugt werden, welche die Lichtausbeute der hieraus gefertigten Solarzellen erhöhen. Im Gegensatz zu konventionellen Ätzbädern kann der Prozess bei Raumtemperatur durchgeführt werden und bietet neben Energieeinsparungspotenzialen auch vielversprechende Ansätze im Hinblick auf einen geringeren Chemikalienverbrauch. Integraler Bestandteil des Projektes bildet die Durchführung einer Öko-Effizienz-Analyse zur Ermittlung der Wirtschaftlichkeit, vor allem auch im Hinblick auf den sicheren Umgang mit umweltgefährdenden Stoffen.
Verwertungspotenziale werden über die Photovoltaik hinaus auch in anderen An¬wendungs-bereichen der Halbleiterindustrie, der Optoelektronik sowie der Mikrosystem¬technik gesehen. Weiterhin zeichnen sich Einsatzmöglichkeiten auch im Bereich der Recyclingtechnologien bei der Entsorgung von Elektronikkomponenten ab. Im Erfolgsfall werden Lizenz¬verein¬barungen und Kooperationsprojekte mit der Industrie angestrebt, daneben bestehen Potenziale für die Ausgründung eines Unternehmens.