Ein neuer Ansatz für die effiziente hochauflösende dreidimensionale Mikroskopie
Der Trend zur technischen Miniaturisierung erfordert zukünftig auch die Kontrolle atomarer Prozesse bei der Herstellung kleinster Bauteile. Dafür sind spezielle Mikroskope notwendig, die eine dreidimensionale chemische Analyse in atomarer Auflösung gestatten. Das derzeitig vielversprechendste Verfahren, das solche Informationen liefern kann, ist die Atomsondentomographie. Dabei werden die Atome durch einen Hochspannungspuls oder einen Laserimpuls einzeln aus der Probe abgelöst, auf einen Detektor beschleunigt und anhand ihrer Flugzeit chemisch analysiert.
Dieses Verfahren ist bisher jedoch sehr zeitintensiv und mit hohen Investitionskosten in Spezialgeräte verbunden. Dem Antragsteller ist es gelungen, die notwendigen Atomsonden soweit zu miniaturisieren, dass ein mobiler Messkopf direkt in bestehende Mikroskope integriert werden kann. In dem Vorhaben soll die Technologie zu einem vollständigen Demonstrator weiterentwickelt werden, wobei auf gängige kommerziell erhältliche Komponenten zurückgegriffen wird. Damit und mit der einhergehenden Verkleinerung könnte dieses neue Verfahren erstmals wirtschaftlich attraktiv werden, insbesondere für die Entwicklungsarbeit und Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie, der Solarindustrie, bei der Batterie- und Brennstoffzellenentwicklung sowie der Mikromechanik und Sensortechnik.
Nach Projektende soll die wirtschaftliche Verwertung der Technologie entweder über ein Spin-Off oder einen Lizenzverkauf erfolgen.