Generative Herstellung effizienter Piezo-MEMS für die Mikroaktorik
Sogenannte Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) ermöglichen die Realisierung von miniaturisierten Aktoren, die z. B. in Miniaturlautsprechern mobiler End- oder Hörgeräte, in Mikro-Relais oder -Transformatoren, in Mikropumpen oder -ventilen und zum Antrieb von Miniaturspiegel für die Laserstrahlablenkung in der Materialbearbeitung verwendet werden. Für diese Art von MEMS werden piezoelektrische Materialien verwendet und mit Hilfe eines Schichtsystems aktorische oder sensorische Funktionalitäten implementiert. Dabei stellt die maximal erreichbare Auslenkung (Stellweg) eine Grenze für die Einsatzmöglichkeiten von Aktoren auf Basis von einlagigen Piezo-MEMS dar. Das Projektkonsortium hat gemeinsam eine Technologie entwickelt, die mit Hilfe der Kombination von nasschemischen Prozessen und Laserverfahren die generative Fertigung von Mehrlagen-Piezo-MEMS ermöglicht, deren selektiver Mehrlagenaufbau einen größeren Stellweg erlaubt. Im Rahmen des Vorhabens soll eine nachhaltige, universelle Technologieplattform zur additiven Herstellung solcher Mehrlagen-Piezo-MEMS für die Mikroaktorik validiert werden. Dabei sind die wesentlichen aufeinander abzustimmenden und zu validierenden Prozessschritte dieser Plattform die Herstellung der Schichten über ein Druckverfahren, die gezielte Laserkristallisation und die Fertigstellung mit konventionellen Verfahren der Mikroelektronik. Das Verwertungskonzept des Vorhabens sieht eine Lizensierung der Technologie oder eine Ausgründung vor.